Hochgeschwindigkeits-Schaftfräsen von Einkristall-Siliziu...
Die Bearbeitung von einkristallinem Silizium ist aufgrund der hohen Härte und der inhärenten Sprödigkeit des Materials eine herausfordernde und teure Angelegenheit. Das Hauptproblem bei der herkömmlichen Bearbeitung spröder Materialien wie Silizium ist die Erzeugung von Rissen und Beschädigungen unter der Oberfläche. Dieses Buch beschreibt ein duktiles Bearbeitungsverfahren, das für Silizium unter Verwendung eines Hochgeschwindigkeits-Schaftfräsens unter Verwendung diamantbeschichteter Werkzeuge entwickelt wurde. ...