Substrateffekt und Nanoindentationsversagen
Die Auswirkung des Substrats wurde mit Hilfe der Nanoindentation an dünnen Filmen untersucht. Weiche Filme auf hartem Substrat zeigten mehr Anhäufungen als üblich, was auf die Anhäufung von Versetzungen an der Film-Substrat-Grenzfläche zurückgeführt wurde. Die Auswirkung des Abstumpfens der Spitze auf die Lasttiefe und die Härtekurven der Nanoindentation wurde aufgezeigt. Die experimentellen Daten zur Veränderung der Vickershärte mit der Schichtdicke ...