Mikromechanische Gas- und Biosensoren
Die Identifizierung von wenigen oder einzelnen Molekülen in Gasen oder Flüssigkeiten stößt sowohl in der Forschung als auch in der Industrie auf ein reges Interesse. Insbesondere besteht noch Bedarf an Sensoren, die für Miniaturisierung und Parallelisierung geeignet sind. Ein vielversprechender Ansatz hierfür ist der Einsatz von mikromechanischen Strukturen. Wie zuverlässig und leistungsfähig sind aber die mikromechanischen Strukturen in der molekularen ...