MIKRO- UND NANOELEKTROMECHANIK
In der modernen Mikroelektronik ist der sich am intensivsten entwickelnde Sektor mikroelektromechanische Systeme, MEMS. Diese Richtung basiert auf den neuesten Errungenschaften der mikroelektronischen Technologien und zielt darauf ab, exekutive Mikromechanismen zu schaffen, die bisher unerreichbare Funktionsfähigkeiten haben. In den letzten Jahren haben MEMS durch die Schaffung neuer Märkte für mobile Elektronik mit bisher unbekannten Verbrauchereigenschaften und Branchen - Automobil, Elektronik, ...