Mikrostrukturierung mit ultrakurzen Laserpulsen
In dieser Arbeit werden Ergebnisse der selektiven Mikrostrukturierung eines Masters für eine Spritzgussmatrize mit ultrakurzen Laserpulsen vorgestellt. Mögliche Anwendungen für solche Verfahren zur Herstellung von Mikrofluidik- und Biochips sind in den Bereichen Rapid Prototyping und Mastering. Als Beispielstruktur wird ein Mikrofluidikchip prozessiert, welcher Anwendung in den Bereich Life Sciences und Diagnostik finden soll. Dieser ist ein bio-inspiriertes Mikrosystem, das die ...