Entwicklung eines Depositionssystems zur AFM-gestützten P...
Kurzbeschreibung Zielsetzung dieser Arbeit war die Entwicklung eines Systems zur Gasphasen-Synthese von halbleitenden Nanopartikeln, deren in line Größenselektion und Deposition, mit dem die Nanopartikel mit einer räumlichen Auflösung im Nanometer-Bereich zur Herstellung von funktionalen elektrischen Bauelementen positioniert werden können. Das Gesamtsystem besteht aus einem Nanopartikel-Reaktor zur Herstellung von Silizium-Nanopartikeln in einem mikrowelleninduzierten Niederdruck-Plasma, einem Partikelmassenspektrometer (PMS) zur Molekularstrahlprobennahme und Messung ...