Verarbeitung von PZT-Folien
In den letzten vier Jahrzehnten hat die Entwicklung der Mikroelektronikindustrie den Trend zur Herstellung ultradünner (mit nanometrischer Mikrostruktur) und ultrareiner (ohne Verunreinigungen oder Defekte) Materialien gesetzt, die eine Steigerung der funktionellen Effizienz ihrer Teile bei kleinstmöglichem Volumen garantieren. Das übergeordnete Ziel dieser Arbeit war die Synthese (Abscheidung und Glühen) ferroelektrischer Bleititanat-Schichten (PT), die auf einem Pt/Ti/SiO2/Si <100> Substrat abgeschieden wurden. ...