![Herstellung von nanoporösem Silizium](https://support.digitalhusky.com/media/annotations/sorted/458/45836782/CHSBZCOP0345836782.jpg)
Herstellung von nanoporösem Silizium
Die Eigenschaften der porösen Si-Schicht, die durch silberverstärktes chemisches Ätzen von p-Si in wässriger HF/HNO3-Lösung gebildet wird, werden durch die Konzentration der Ag-Ionen im Beschichtungsbad, die Konzentrationen sowohl des Ätzmittels (HF) als auch des Oxidationsmittels (HNO3) und die Ätzzeit des Si-Substrats beeinflusst. Die SEM-Ergebnisse bestätigten, dass die Abscheidung von Silberionen aus einer 1, 0 × 10-3 M AgNO3-Lösung auf p-Si ...