Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Buchkatalog

Die vorliegende Arbeit beinhaltet Realisierungsmöglichkeiten des konstruktivenAufbaus von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM).Mit zusätzlichen rotatorischen Freiheiten wird die Limitierung kartesisch operierenderNPMM hinsichtlich der Adressierbarkeit stark gekrümmter Objektgeometrienüberwunden. Systematisch werden modular variierte Maschinenkonzepteim Hinblick auf die Realisierung mehrachsiger Bewegungen entwickelt.Ein hohes Potential zeigen Varianten mit drei unabhängigen linearenBewegungen des Objektes in Kombination mit zwei unabhängigen Rotationendes Tools um einen gemeinsamen Momentanpol, der dauerhaft mit demArbeitspunkt des Tools und dem Abbepunkt der kartesischen NPMM übereinstimmt.Ein derartiger Aufbau, der ultrapräzise Rotationen eines Toolsmit einer Masse +/- 2 kg gewährleistet, wird innerhalb einer NPMM erprobt.Die Positionierabweichungen werden mit Fabry-Pérot-Interferometern gegenübereinem halbkugelförmigen Konkavspiegel in situ erfasst.