Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von ...
Die vorliegende Arbeit beinhaltet Realisierungsmöglichkeiten des konstruktivenAufbaus von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM).Mit zusätzlichen rotatorischen Freiheiten wird die Limitierung kartesisch operierenderNPMM hinsichtlich der Adressierbarkeit stark gekrümmter Objektgeometrienüberwunden. Systematisch werden modular variierte Maschinenkonzepteim Hinblick auf die Realisierung mehrachsiger Bewegungen entwickelt.Ein hohes Potential zeigen Varianten mit drei unabhängigen linearenBewegungen des Objektes in Kombination mit zwei unabhängigen Rotationendes Tools um einen gemeinsamen Momentanpol, der ...